웨이퍼
- 동의어
- 포토리소그래피, 식각, 증착, 클린룸
웨이퍼란 반도체 소자를 만드는 얇고 둥근 실리콘 기판이다.
원리
고순도 단결정 실리콘을 얇게 절단·연마한 원판으로, 그 위에 회로를 형성해 칩을 만듭니다.
용도
반도체 전공정의 기본 소재로 씁니다.
주의사항
청정·평탄도 관리가 극히 중요합니다. 지름이 클수록 생산성이 높습니다.
자주 묻는 질문
무엇인가요?
실리콘 원판 기판입니다.
무엇을 만드나요?
그 위에 반도체 회로입니다.
관리 포인트는?
청정·평탄도입니다.