클린룸 등급
- 동의어
- 클린룸, 웨이퍼, 포토리소그래피, 반도체 패키징
클린룸 등급이란 단위 부피당 허용 입자 수로 청정도를 나눈 기준이다.
원리
ISO 14644 기준으로 Class 1~9 등으로 나뉘며, 숫자가 작을수록 청정합니다.
용도
공정별 청정 요구 규정에 씁니다.
주의사항
공정에 맞는 등급 선정이 중요합니다. 등급 유지 관리가 필요합니다.
관련 규격 / 표준
- ISO 14644
자주 묻는 질문
무엇인가요?
청정도 규격 등급입니다.
기준은?
단위 부피당 입자 수입니다.
작을수록?
더 청정합니다.