과산화수소
- 동의어
- 불산(HF), IPA(이소프로필알코올), 부식성가스, 반도체 제조공정
과산화수소란 H2O2 수용액으로 반도체 세정액의 산화제로 쓰이는 강한 산화성 물질이다.
원리
암모니아수와 섞으면 SC-1, 염산과 섞으면 SC-2 세정액이 됩니다. 웨이퍼 표면의 입자와 금속 오염을 산화시켜 떼어내는 방식으로 씁니다.
용도
웨이퍼 세정액인 SC-1과 SC-2의 산화제로 씁니다.
주의사항
노출기준은 1ppm입니다. 고농도 용액은 금속이나 유기물과 닿으면 급격히 분해되며 압력이 오르므로, 밀폐 용기에 담아 두거나 다른 약액 용기를 함께 쓰면 위험합니다.
관련 규격 / 표준
- 화학물질 및 물리적 인자의 노출기준(고용노동부 고시)
자주 묻는 질문
밀폐 용기에 보관해도 되나요?
분해 가스가 차므로 통기되는 전용 용기를 씁니다.
소독용 과산화수소와 같은 건가요?
성분은 같지만 농도가 훨씬 높아 취급법이 다릅니다.
공기 중 관리 기준이 있나요?
시간가중평균 1ppm으로 관리합니다.