반도체 현장을 지키는 산업안전 용어사전

가스 위험성 구분 4

가스 위험성 구분

ㄱ

가연성가스 독성가스 자연발화성가스 실란(Silane) IPA(이소프로필알코올)

가연성가스란 공기와 섞여 불이 붙을 수 있는 가스로 폭발한계를 기준으로 구분한다. → 가스 위험성 구분

ㄷ

독성가스 가연성가스 부식성가스 반도체 특수가스 아르신(Arsine)

독성가스란 공기 중에 일정량 이상 있으면 인체에 해로운 가스로 고압가스 안전관리법이 허용농도를 기준으로 정한 가스를 말한다. → 가스 위험성 구분

ㅂ

부식성가스 불소가스 불산(HF) 독성가스 산성가스

부식성가스란 금속이나 인체 조직을 화학적으로 손상시키는 가스로 배관과 설비 재질 선정에 제약을 주는 가스이다. → 가스 위험성 구분

ㅈ

자연발화성가스 실란(Silane) 디보란(Diborane) 가연성가스 반도체 특수가스

자연발화성가스란 54도 이하의 공기 중에서 점화원 없이 스스로 불이 붙는 인화성 가스를 말한다. →

개인보호구 총론 4

개인보호구 총론

ㄱ

개인보호구(PPE) 호흡보호구 청력보호구 보호복 머리 및 얼굴 보호

개인보호구란 작업자가 몸에 착용해 유해인자로부터 자신을 지키는 장비를 통틀어 이르는 말이다. → 개인보호구 총론

ㅂ

보호복 보호복 착용 보호복 폐기 보호복 액세서리 작업용 장갑

보호복이란 분진이나 화학물질이 몸과 옷에 닿는 것을 막기 위해 입는 보호구를 말한다. → 개인보호구 총론

ㅊ

청력보호구 귀마개 귀덮개 차음성능 개인보호구(PPE)

청력보호구란 소음으로 인한 청력 손실을 막기 위해 귀에 착용하는 보호구를 말한다. → 개인보호구 총론

ㅎ

호흡보호구 개인보호구(PPE) 재사용식 호흡보호구 후드형 호흡보호구 MUC

호흡보호구란 공기 중 유해물질이나 산소 부족으로부터 호흡기를 지키는 보호구를 말한다. →

농도 단위·물질 식별 3

농도 단위·물질 식별

C

CAS No. ppm mg/m³ IPA(이소프로필알코올) 독성가스

CAS No.란 화학물질마다 붙는 고유 등록번호로 이름이 달라도 같은 물질임을 확인하게 해 주는 번호이다. → 농도 단위·물질 식별

M

mg/m³ ppm 미립자 입자상 유해인자 에어로졸

mg/m³란 공기 1세제곱미터에 들어 있는 물질의 무게를 밀리그램으로 나타낸 농도 단위이다. → 농도 단위·물질 식별

P

ppm mg/m³ 미립자 가스 및 증기 MUC

ppm이란 백만분의 일을 뜻하는 농도 단위로 공기 중 가스와 증기의 농도를 나타낼 때 쓴다. →

눈·얼굴 보호 2

눈·얼굴 보호

ㅁ

머리 및 얼굴 보호 비산물 보호 헤드기어형 호흡보호구 이어머프 보호복 착용

머리 및 얼굴 보호란 낙하물과 충돌, 비산물, 화학물질로부터 머리와 얼굴을 함께 지키는 보호 영역을 말한다. → 눈·얼굴 보호

ㅂ

비산물 보호 머리 및 얼굴 보호 헤드기어형 호흡보호구 보호복 착용 보호복 액세서리

비산물 보호란 연마나 절삭 과정에서 튀는 고체 조각으로부터 눈과 얼굴을 지키는 것을 말한다. →

반도체 공정·클린룸 3

반도체 공정·클린룸

ㅂ

반도체 제조공정 클린룸 포토레지스트 반도체 특수가스 불산(HF)

반도체 제조공정이란 웨이퍼에 회로를 만들기 위해 산화·포토·식각·증착·이온주입·세정을 반복하는 일련의 공정을 말한다. → 반도체 공정·클린룸

ㅋ

클린룸 반도체 제조공정 미립자 입자상 유해인자 포토레지스트

클린룸이란 공기 중 부유입자 농도를 일정 등급 이하로 관리하는 청정 작업공간을 말한다. → 반도체 공정·클린룸

ㅍ

포토레지스트 반도체 제조공정 유기가스용 정화통 클린룸 IPA(이소프로필알코올)

포토레지스트란 빛을 받으면 성질이 변하는 감광액으로 웨이퍼에 회로 패턴을 새기는 데 쓰인다. →

반도체 특수가스 8

반도체 특수가스

N

NF3 SF6 불소가스 반도체 특수가스 반도체 제조공정

NF3란 삼불화질소를 말하며 반도체·디스플레이 챔버 세정에 쓰이는 불소 공급 가스이다. → 반도체 특수가스

S

SF6 NF3 반도체 특수가스 불소가스 독성가스

SF6란 육불화황을 말하며 절연성이 뛰어나 반도체 식각과 전기설비 절연에 쓰이는 무색무취의 가스이다. → 반도체 특수가스

ㄷ

디보란(Diborane) 반도체 특수가스 실란(Silane) 자연발화성가스 독성가스

디보란이란 붕소와 수소로 이루어진 B2H6 가스로 반도체 p형 도핑에 쓰이는 자연발화성 독성가스이다. → 반도체 특수가스

ㅂ

반도체 특수가스 실란(Silane) 포스핀(Phosphine) 독성가스 자연발화성가스

반도체 특수가스란 증착·도핑·식각 공정에 쓰이는 고순도 가스 중 독성이나 자연발화성 때문에 별도 관리가 필요한 가스를 말한다. → 반도체 특수가스

ㅂ

불소가스 불산(HF) NF3 부식성가스 독성가스

불소가스란 상온에서 옅은 황색을 띠는 F2 기체로 반응성이 가장 강한 원소 기체이다. → 반도체 특수가스

ㅅ

실란(Silane) 반도체 특수가스 자연발화성가스 가연성가스 디보란(Diborane)

실란이란 규소와 수소로 이루어진 SiH4 가스로 반도체 박막 증착의 실리콘 공급원으로 쓰이는 자연발화성 가스이다. → 반도체 특수가스

ㅇ

아르신(Arsine) 반도체 특수가스 포스핀(Phosphine) 독성가스 디보란(Diborane)

아르신이란 비소와 수소로 이루어진 AsH3 가스로 반도체 도핑에 쓰이며 적혈구를 파괴하는 맹독성 가스이다. → 반도체 특수가스

ㅍ

포스핀(Phosphine) 반도체 특수가스 아르신(Arsine) 독성가스 가연성가스

포스핀이란 인과 수소로 이루어진 PH3 가스로 반도체 도핑의 인 공급원으로 쓰이는 맹독성 가스이다. →

보호복·장갑 관리 4

보호복·장갑 관리

ㅂ

보호복 액세서리 보호복 착용 보호복 폐기 비산물 보호 머리 및 얼굴 보호

보호복 액세서리란 신발 커버와 토시, 후드, 전용 테이프처럼 보호복의 빈틈을 막는 부속품을 말한다. → 보호복·장갑 관리

ㅂ

보호복 착용 보호복 폐기 보호복 액세서리 머리 및 얼굴 보호 비산물 보호

보호복 착용이란 오염을 막기 위해 정해진 순서에 따라 보호복을 입고 벗는 절차를 말한다. → 보호복·장갑 관리

ㅂ

보호복 폐기 보호복 착용 보호복 액세서리 비산물 보호 머리 및 얼굴 보호

보호복 폐기란 사용한 보호복을 오염 상태에 따라 구분해 버리는 절차를 말한다. → 보호복·장갑 관리

ㅈ

작업용 장갑 보호복 보호복 착용 보호복 액세서리 개인보호구(PPE)

작업용 장갑이란 손을 베임과 열, 화학물질, 오염으로부터 지키기 위해 끼는 보호구를 말한다. →

유해인자 형태 구분 8

유해인자 형태 구분

ㄱ

가스 및 증기 입자상 유해인자 산성가스 유기가스용 정화통 ppm

가스 및 증기란 상온에서 기체인 물질과 액체가 증발해 생긴 기체를 함께 이르는 말이다. → 유해인자 형태 구분

ㅁ

미립자 입자상 유해인자 에어로졸 클린룸 mg/m³

미립자란 공기 중에 떠 있는 아주 작은 고체나 액체 입자를 통틀어 이르는 말이다. → 유해인자 형태 구분

ㅂ

분진 입자상 유해인자 미립자 에어로졸 mg/m³

분진이란 고체를 깎거나 부수는 과정에서 생겨 공기 중에 떠다니는 작은 알갱이를 말한다. → 유해인자 형태 구분

ㅅ

산성가스 산성가스용 정화통 부식성가스 불산(HF) 가스 및 증기

산성가스란 물에 녹아 산성을 띠는 기체로 염화수소와 아황산가스, 불화수소 등이 여기에 든다. → 유해인자 형태 구분

ㅇ

에어로졸 미립자 입자상 유해인자 가스 및 증기 클린룸

에어로졸이란 기체 속에 고체나 액체 입자가 떠 있는 상태를 말한다. → 유해인자 형태 구분

ㅇ

유기가스 유기증기 가스 및 증기 유기가스용 정화통 산성가스

유기가스란 상온에서 이미 기체 상태로 존재하는 유기화합물을 말한다. → 유해인자 형태 구분

ㅇ

유기증기 유기가스 가스 및 증기 유기가스용 정화통 포토레지스트

유기증기란 상온에서 액체인 유기화합물이 증발해 기체가 된 것을 말한다. → 유해인자 형태 구분

ㅇ

입자상 유해인자 미립자 에어로졸 가스 및 증기 mg/m³

입자상 유해인자란 분진과 흄, 미스트처럼 고체나 액체 알갱이 형태로 존재하는 유해인자를 말한다. →

정화통 종류 4

정화통 종류

ㅂ

복합 정화통 유기가스용 정화통 산성가스용 정화통 암모니아용 정화통 직결식 호흡보호구

복합 정화통이란 두 가지 이상의 가스 흡착제를 함께 넣거나 방진 필터를 결합한 정화통을 말한다. → 정화통 종류

ㅅ

산성가스용 정화통 유기가스용 정화통 암모니아용 정화통 복합 정화통 부식성가스

산성가스용 정화통이란 염화수소나 아황산가스처럼 산성을 띠는 가스를 중화·흡착해 걸러내는 정화통을 말한다. → 정화통 종류

ㅇ

암모니아용 정화통 유기가스용 정화통 산성가스용 정화통 복합 정화통 직결식 호흡보호구

암모니아용 정화통이란 암모니아 가스와 증기를 걸러내도록 만든 방독마스크 정화통을 말한다. → 정화통 종류

ㅇ

유기가스용 정화통 산성가스용 정화통 암모니아용 정화통 복합 정화통 직결식 호흡보호구

유기가스용 정화통이란 유기용제 증기를 활성탄에 흡착시켜 걸러내는 방독마스크 부품을 말한다. →

청력보호구 10

청력보호구

ㄱ

귀덮개 이어머프 귀마개 청력보호구 밀착 테스트 폼 타입 귀마개

귀덮개란 귀 전체를 컵으로 덮어 소음을 줄이는 청력보호구를 말한다. → 청력보호구

ㄱ

귀마개 이어플러그 귀덮개 폼 타입 귀마개 청력보호구 밀착 테스트

귀마개란 외이도에 넣어 소음을 줄이는 삽입형 청력보호구를 말한다. → 청력보호구

ㄱ

금속탐지 귀마개 귀마개 재사용 귀마개 폼 타입 귀마개 이어플러그

금속탐지 귀마개란 금속 조각을 넣어 제품에 섞여 들어가도 금속탐지기에 걸리도록 만든 귀마개를 말한다. → 청력보호구

ㅇ

이어머프 귀덮개 귀마개 청력보호구 밀착 테스트 머리 및 얼굴 보호

이어머프란 귀덮개의 영문 이름으로 머리띠형·목걸이형·헬멧 부착형 등 착용 방식에 따라 나뉜다. → 청력보호구

ㅇ

이어플러그 귀마개 폼 타입 귀마개 푸쉬인 귀마개 재사용 귀마개

이어플러그란 귀마개의 영문 이름으로 외이도에 삽입하는 형태의 청력보호구를 통칭한다. → 청력보호구

ㅈ

재사용 귀마개 폼 타입 귀마개 푸쉬인 귀마개 이어플러그 귀마개

재사용 귀마개란 세척해 여러 번 쓸 수 있도록 만든 삽입형 청력보호구를 말한다. → 청력보호구

ㅊ

차음성능 청력보호구 밀착 테스트 귀마개 귀덮개 청력보호구

차음성능이란 청력보호구가 소음을 얼마나 줄여 주는지를 나타내는 성능을 말한다. → 청력보호구

ㅊ

청력보호구 밀착 테스트 귀마개 귀덮개 폼 타입 귀마개 이어머프

청력보호구 밀착 테스트란 착용자가 실제로 얼마나 차음되는지를 개인별로 측정하는 검사를 말한다. → 청력보호구

ㅍ

폼 타입 귀마개 재사용 귀마개 푸쉬인 귀마개 귀마개 청력보호구 밀착 테스트

폼 타입 귀마개란 손으로 눌러 가늘게 만든 뒤 외이도에 넣어 부풀리는 발포 재질의 귀마개를 말한다. → 청력보호구

ㅍ

푸쉬인 귀마개 폼 타입 귀마개 재사용 귀마개 귀마개 이어플러그

푸쉬인 귀마개란 손잡이 막대가 달려 있어 폼을 만지지 않고 밀어 넣는 형태의 귀마개를 말한다. →

팹 화학약품 3

팹 화학약품

I

IPA(이소프로필알코올) 과산화수소 가연성가스 클린룸 유기가스용 정화통

IPA란 이소프로필알코올을 말하며 웨이퍼 건조와 표면 세정에 쓰이는 휘발성 유기용제이다. → 팹 화학약품

ㄱ

과산화수소 불산(HF) IPA(이소프로필알코올) 부식성가스 반도체 제조공정

과산화수소란 H2O2 수용액으로 반도체 세정액의 산화제로 쓰이는 강한 산화성 물질이다. → 팹 화학약품

ㅂ

불산(HF) 불소가스 부식성가스 독성가스 반도체 특수가스

불산이란 불화수소를 물에 녹인 강한 부식성 산으로 반도체 습식식각과 산화막 제거에 쓰인다. →

호흡보호구 선정 지표 2

호흡보호구 선정 지표

F

Fit Factor MUC 재사용식 호흡보호구 후드형 호흡보호구 직결식 호흡보호구

Fit Factor란 정량적 밀착도 검사에서 나온 마스크 바깥 농도와 안쪽 농도의 비를 나타내는 숫자이다. → 호흡보호구 선정 지표

M

MUC Fit Factor 후드형 호흡보호구 ppm 재사용식 호흡보호구

MUC란 최대사용농도를 말하며 해당 호흡보호구를 쓸 수 있는 공기 중 농도의 상한이다. →

호흡보호구 형태 4

호흡보호구 형태

ㅈ

재사용식 호흡보호구 직결식 호흡보호구 후드형 호흡보호구 헤드기어형 호흡보호구 Fit Factor

재사용식 호흡보호구란 안면부는 계속 쓰고 정화통과 필터만 교체하는 형태의 호흡보호구를 말한다. → 호흡보호구 형태

ㅈ

직결식 호흡보호구 재사용식 호흡보호구 후드형 호흡보호구 유기가스용 정화통 복합 정화통

직결식 호흡보호구란 정화통이나 필터를 안면부에 직접 끼워 쓰는 형태의 호흡보호구를 말한다. → 호흡보호구 형태

ㅎ

헤드기어형 호흡보호구 후드형 호흡보호구 머리 및 얼굴 보호 재사용식 호흡보호구 비산물 보호

헤드기어형 호흡보호구란 안전모나 얼굴 보호면과 호흡보호 기능을 하나로 합친 형태의 호흡보호구를 말한다. → 호흡보호구 형태

ㅎ

후드형 호흡보호구 헤드기어형 호흡보호구 재사용식 호흡보호구 MUC 직결식 호흡보호구

후드형 호흡보호구란 머리 전체를 감싸는 후드에 정화된 공기를 넣어 주는 형태의 호흡보호구를 말한다. →