클린룸
- 동의어
- 반도체 제조공정, 미립자, 입자상 유해인자, 포토레지스트
클린룸이란 공기 중 부유입자 농도를 일정 등급 이하로 관리하는 청정 작업공간을 말한다.
원리
ISO 14644-1은 1세제곱미터 안의 입자 수로 등급을 나눕니다. 반도체 공정은 주로 ISO 3~5등급을 쓰고 5등급은 0.5마이크로미터 입자가 3,520개 이하인 수준입니다.
용도
미세 입자에 민감한 웨이퍼 공정 공간을 관리할 때 씁니다.
주의사항
클린룸은 제품을 위한 청정도지 사람을 위한 환기가 아닙니다. 공기를 순환시키는 구조라 가스가 새면 오히려 넓게 퍼지므로 별도의 국소배기와 감지기가 필요합니다.
관련 규격 / 표준
- KS I ISO 14644-1
자주 묻는 질문
방진복이면 충분한가요?
제품 보호용이라 화학물질 차단은 어렵습니다.
등급은 어떻게 나누나요?
ISO 14644-1에 따라 입자 수로 나눕니다.
반도체는 몇 등급을 쓰나요?
주로 ISO 3~5등급을 씁니다.