디보란(Diborane)
- 동의어
- 반도체 특수가스, 실란(Silane), 자연발화성가스, 독성가스
디보란이란 붕소와 수소로 이루어진 B2H6 가스로 반도체 p형 도핑에 쓰이는 자연발화성 독성가스이다.
원리
공기와 접촉하면 스스로 발화하고 물과 만나면 수소를 내며 분해됩니다. 누출과 동시에 화재와 독성 두 가지 위험이 함께 생깁니다.
용도
이온주입과 박막 증착의 붕소 공급 가스로 씁니다.
주의사항
노출기준은 0.1ppm이며 흡입 후 폐부종이 하루 가까이 지나 나타날 수 있습니다. 초기 증상이 가볍다고 작업에 복귀시키면 위험합니다.
관련 규격 / 표준
- 화학물질 및 물리적 인자의 노출기준(고용노동부 고시)
자주 묻는 질문
물로 씻어내도 되나요?
물과 반응해 수소가 생기므로 쓰지 않습니다.
증상이 늦게 오나요?
폐부종이 하루 가까이 지나 나타나기도 합니다.
몇 ppm까지 관리하나요?
시간가중평균 0.1ppm입니다.