실란(Silane)
- 동의어
- 반도체 특수가스, 자연발화성가스, 가연성가스, 디보란(Diborane)
실란이란 규소와 수소로 이루어진 SiH4 가스로 반도체 박막 증착의 실리콘 공급원으로 쓰이는 자연발화성 가스이다.
원리
공기와 만나면 별도 점화원 없이 스스로 타면서 이산화규소 흰 연기를 만듭니다. 소량이 새면 곧바로 붙지 않고 쌓였다가 한꺼번에 점화되기도 합니다.
용도
폴리실리콘·질화막·산화막 증착 공정의 원료 가스로 씁니다.
주의사항
노출기준은 5ppm이지만 실제 위험은 독성보다 화재입니다. 누출 시 불을 끄는 것보다 가스 공급 차단이 먼저이며, 껐다가 잔류 가스가 다시 발화할 수 있습니다.
관련 규격 / 표준
- 화학물질 및 물리적 인자의 노출기준(고용노동부 고시)
자주 묻는 질문
불이 붙으면 먼저 꺼야 하나요?
불보다 공급 밸브를 먼저 잠급니다.
냄새로 알 수 있나요?
자극적인 냄새가 나지만 이미 발화한 뒤인 경우가 많습니다.
노출기준은 몇 ppm인가요?
시간가중평균 5ppm입니다.