반도체 특수가스
- 동의어
- 실란(Silane), 포스핀(Phosphine), 독성가스, 자연발화성가스
반도체 특수가스란 증착·도핑·식각 공정에 쓰이는 고순도 가스 중 독성이나 자연발화성 때문에 별도 관리가 필요한 가스를 말한다.
원리
모노실란·디보레인·알진·포스핀은 고압가스 안전관리법상 특정고압가스로 지정돼 있습니다. 사용 전에 신고해야 하고 전용 가스캐비닛 보관과 배기 연동이 함께 요구됩니다.
용도
박막 증착, 이온주입 도핑, 식각과 챔버 세정의 원료 가스로 씁니다.
주의사항
가스마다 위험 성격이 달라 하나의 절차로 묶으면 안 됩니다. 실란은 누출 즉시 발화하고 아르신은 냄새가 없어 감지가 늦으므로 가스별로 감지기를 따로 둡니다.
관련 규격 / 표준
- 고압가스 안전관리법 시행규칙 제2조
자주 묻는 질문
사용 전에 신고해야 하나요?
모노실란·디보레인·알진·포스핀 등 특정고압가스는 신고하고 씁니다.
실린더는 어디에 보관하나요?
배기가 연결된 전용 가스캐비닛에 넣어 보관합니다.
방독마스크로 대응이 되나요?
정화통만으로는 부족해 송기식 마스크를 씁니다.