NF3
- 동의어
- SF6, 불소가스, 반도체 특수가스, 반도체 제조공정
NF3란 삼불화질소를 말하며 반도체·디스플레이 챔버 세정에 쓰이는 불소 공급 가스이다.
원리
플라즈마로 분해되면 불소 원자를 내놓아 챔버 안에 쌓인 실리콘 막을 기체로 바꿔 배출합니다. 세정 효율이 높아 기존 불화탄소 가스를 대체해 왔습니다.
용도
증착 챔버 내부를 공정 중에 세정하는 가스로 씁니다.
주의사항
노출기준은 10ppm이며 무색에 냄새가 거의 없어 누출을 알아차리기 어렵습니다. 지구온난화지수가 이산화탄소의 1만 7천 배라 배출 저감설비가 함께 필요합니다.
자주 묻는 질문
SF6 대신 쓰는 이유가 있나요?
세정 효율이 높고 잔류가 적기 때문입니다.
챔버 세정에 왜 쓰나요?
불소 원자가 실리콘 막을 기체로 바꿔 빼내기 때문입니다.
배출가스는 어떻게 처리하나요?
스크러버로 분해한 뒤 배출합니다.