증착
- 동의어
- 식각, 포토리소그래피, 웨이퍼, PVD 코팅
증착이란 웨이퍼 표면에 얇은 막을 입히는 공정이다.
원리
화학(CVD)·물리(PVD) 방식으로 절연·도전·보호막을 형성해 소자 구조를 쌓습니다.
용도
반도체 박막 형성에 씁니다.
주의사항
막질·두께·균일도 관리가 중요합니다. 공정별 특성이 다릅니다.
자주 묻는 질문
무엇인가요?
박막을 입히는 공정입니다.
방식은?
CVD·PVD 등입니다.
왜 하나요?
소자 구조를 쌓기 위해서입니다.
증착이란 웨이퍼 표면에 얇은 막을 입히는 공정이다.
화학(CVD)·물리(PVD) 방식으로 절연·도전·보호막을 형성해 소자 구조를 쌓습니다.
반도체 박막 형성에 씁니다.
막질·두께·균일도 관리가 중요합니다. 공정별 특성이 다릅니다.
박막을 입히는 공정입니다.
CVD·PVD 등입니다.
소자 구조를 쌓기 위해서입니다.