포토리소그래피
- 동의어
- 웨이퍼, 식각, 증착, 클린룸
포토리소그래피란 빛으로 회로 패턴을 웨이퍼에 전사하는 공정이다.
원리
감광제(포토레지스트)를 바르고 마스크를 통해 노광·현상해 미세 회로 패턴을 형성합니다.
용도
반도체 회로 패턴 형성에 씁니다.
주의사항
노광 정밀도·청정도가 핵심입니다. 반복되는 핵심 공정입니다.
자주 묻는 질문
무엇인가요?
빛으로 패턴을 전사하는 공정입니다.
과정은?
도포→노광→현상입니다.
왜 중요한가요?
미세 회로를 만들기 때문입니다.