IPA(이소프로필알코올)
- 동의어
- 과산화수소, 가연성가스, 클린룸, 유기가스용 정화통
IPA란 이소프로필알코올을 말하며 웨이퍼 건조와 표면 세정에 쓰이는 휘발성 유기용제이다.
원리
물보다 표면장력이 낮아 웨이퍼에 남은 물기를 밀어내며 말라 얼룩을 줄여 줍니다. 인화점이 11.7도라 상온에서 이미 불붙을 수 있는 증기를 냅니다.
용도
웨이퍼 건조와 장비·클린룸 표면 세정에 씁니다.
주의사항
노출기준은 200ppm, 단시간 400ppm입니다. 폭발범위가 2~12%로 넓어 밀폐된 공간에서 많이 쓰면 증기가 쌓이므로 국소배기와 정전기 관리가 함께 필요합니다.
관련 규격 / 표준
- 화학물질 및 물리적 인자의 노출기준(고용노동부 고시)
자주 묻는 질문
상온에서도 불이 붙나요?
인화점이 11.7도라 상온에서 붙습니다.
하루 8시간 기준 몇 ppm인가요?
200ppm이고 단시간은 400ppm입니다.
소독용 알코올과 같나요?
성분은 같지만 공정용은 고순도 제품을 씁니다.