클린룸
- 동의어
- 클린룸 등급, 웨이퍼, 포토리소그래피, ESD
클린룸이란 공기 중 미세먼지를 극도로 낮춘 청정 작업 공간이다.
원리
고효율 필터·기류 제어로 파티클·온습도를 관리해, 미세 오염이 치명적인 공정을 보호합니다.
용도
반도체·디스플레이·정밀 조립에 씁니다.
주의사항
가운·기류·반입 관리가 필수입니다. 등급으로 청정도를 규정합니다.
관련 규격 / 표준
- ISO 14644
자주 묻는 질문
무엇인가요?
초청정 작업 공간입니다.
왜 필요한가요?
미세 오염 방지 때문입니다.
등급이란?
청정도 규격입니다.