SF6
- 동의어
- NF3, 반도체 특수가스, 불소가스, 독성가스
SF6란 육불화황을 말하며 절연성이 뛰어나 반도체 식각과 전기설비 절연에 쓰이는 무색무취의 가스이다.
원리
화학적으로 매우 안정해 사람에게는 거의 독성이 없습니다. 다만 그 안정성 때문에 대기 중에 3,200년가량 남고 지구온난화지수가 이산화탄소의 2만 4천 배 수준입니다.
용도
건식식각과 챔버 세정, 전기설비 절연가스로 씁니다.
주의사항
독성이 낮다고 안전한 것은 아닙니다. 공기보다 무거워 지하나 밀폐공간 바닥에 고이면 산소를 밀어내 질식 위험이 생기고, 온실가스 배출량 산정 대상입니다.
자주 묻는 질문
사람에게 독성이 있나요?
독성은 낮지만 산소를 밀어내 질식을 일으킬 수 있습니다.
온실가스로 규제되나요?
7대 온실가스에 포함돼 배출량을 산정합니다.
지구온난화지수가 얼마나 높나요?
이산화탄소의 2만 4천 배 수준입니다.