반도체 특수가스

불소가스

동의어
불산(HF), NF3, 부식성가스, 독성가스

불소가스란 상온에서 옅은 황색을 띠는 F2 기체로 반응성이 가장 강한 원소 기체이다.

원리

거의 모든 원소와 반응할 만큼 산화력이 강해 유리와 금속 배관까지 침식합니다. 습기와 만나면 불화수소로 바뀌어 자극성과 부식성이 더 커집니다.

용도

온사이트 방식의 챔버 세정과 불소화 반응에 씁니다.

주의사항

노출기준은 0.1ppm입니다. 일반 정화통으로는 걸러지지 않고 배관 재질도 제한되므로 불소 전용 계통과 감지기를 따로 구성해야 합니다.

관련 규격 / 표준

  • 화학물질 및 물리적 인자의 노출기준(고용노동부 고시)

자주 묻는 질문

불산과 같은 물질인가요?

불소가스는 F2 기체이고 불산은 불화수소 수용액이라 다릅니다.

기준 농도가 얼마나 낮나요?

시간가중평균 0.1ppm입니다.

방독마스크로 걸러지나요?

일반 정화통으로는 어려워 송기식 마스크를 씁니다.

← 전체 용어 보기

위로 스크롤