포스핀(Phosphine)
- 동의어
- 반도체 특수가스, 아르신(Arsine), 독성가스, 가연성가스
포스핀이란 인과 수소로 이루어진 PH3 가스로 반도체 도핑의 인 공급원으로 쓰이는 맹독성 가스이다.
원리
마늘이나 생선 비린내 같은 냄새가 나지만 냄새를 느끼는 농도는 이미 위험 수준입니다. 미국 NIOSH는 즉시위험농도를 50ppm으로 봅니다.
용도
이온주입과 에피택시 공정의 n형 도판트 가스로 씁니다.
주의사항
노출기준이 0.3ppm으로 매우 낮아 극소량 누출도 문제가 됩니다. 흡입 후 증상이 늦게 나타나 가벼운 두통으로 넘기기 쉬우므로 노출이 의심되면 경과를 지켜봐야 합니다.
자주 묻는 질문
냄새가 나면 이미 위험한가요?
냄새를 느낄 정도면 기준을 크게 넘긴 상태입니다.
노출기준이 얼마나 낮은가요?
시간가중평균 0.3ppm, 단시간 1ppm입니다.
증상이 바로 나타나나요?
몇 시간 지나서 나타나기도 합니다.